商品明細

落地型半自動噴霧塗佈機

    商品簡述
    針對傳統旋轉式塗佈無法克服具有高低差表面結構的基材。
    適用於MEMS與晶片封裝的高深寬比結構、3D曲面玻璃等塗佈製程。

      商品詳細介紹Product Introduction

      基本規格
      外觀尺寸1100mm(W)x1200mm(D)x1850mm(H)
      基板尺寸100mm×100mm基板~8in Wafer
      噴槍型式低壓微量噴槍
      噴塗塗料光阻、AS/AF塗料、奈米分散塗料等
      操作方式手動放片/自動噴塗
      噴塗區域300mmx300mm
      加熱區域350mmx350mm
      噴槍定位模組X-Y-Z三軸定位
      噴頭移動速度X/Y/Z:150/150/60mm/s
      電控系統三菱PLC

      商品備註說明Product Remark

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