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商品明細
落地型半自動噴霧塗佈機
商品簡述
針對傳統旋轉式塗佈無法克服具有高低差表面結構的基材。
適用於MEMS與晶片封裝的高深寬比結構、3D曲面玻璃等塗佈製程。
商品詳細介紹Product Introduction
基本規格 |
外觀尺寸 | 1100mm(W)x1200mm(D)x1850mm(H) |
基板尺寸 | 100mm×100mm基板~8in Wafer |
噴槍型式 | 低壓微量噴槍 |
噴塗塗料 | 光阻、AS/AF塗料、奈米分散塗料等 |
操作方式 | 手動放片/自動噴塗 |
噴塗區域 | 300mmx300mm |
加熱區域 | 350mmx350mm |
噴槍定位模組 | X-Y-Z三軸定位 |
噴頭移動速度 | X/Y/Z:150/150/60mm/s |
電控系統 | 三菱PLC |
商品備註說明Product Remark
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