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商品明細
商品詳細介紹Product Introduction
| 基本規格 |
| 外觀尺寸 | 800mm(W)x600mm(D)x480mm(H) |
| 基板尺寸 | 2-12in Wafer、破片 |
| 操作方式 | 手動放片/手動供料 |
| 轉速 | 10~5,000rpm (±3rpm) |
| 馬達 | 三菱AC Servo Motor |
| 電控系統 | 三菱PLC |
| 製程參數 | 10組 |
| 選配 | 自動供料手臂、晶片洗邊/洗背 |
商品備註說明Product Remark
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